SiO2 травлю без HF

·

А вот приснился мне сон, что SiO2 травлю без HF.
Вот и мучаюсь после: вещий ли, али глупость обычная?

Разрулите, братцы добры: можно ли такое в стакане (плазма — не всчёт)?

image

GD Star Rating
loading...

похожие публикации

  1. Какой сосуд тяжелее?
  2. Концентрация краски
  3. В чём пробы–чипы–кусочки прячете?
Tagged with → •  

    24 Responses to SiO2 травлю без HF

    1. KiMO:
      15/10/2011 в 14:36

      Коллеги, ау! Есть ли у кого опыт применения одинокого бифторида аммония по этой теме? Очень нужно до понедельника обсудить.

      Ответить
    2. GnDr:
      15/10/2011 в 15:08

      Бифторид должен вполне себе сносно травить, учитывая слабость плавиковой кислоты.

      Ответить
    3. KiMO:
      15/10/2011 в 16:14

      вот и хочу его проверить. референций никаких нет?

      Ответить
    4. GnDr:
      15/10/2011 в 16:17

      Не, но не вижу причин, чтоб не травилось.

      Ответить
    5. Od5:
      15/10/2011 в 17:37

      Вообще, для начала, что такое бифторид? фтор — однозарядный ион, аммоний — однозарядный; NH4F. Химия, 8 класс.
      Во–вторых, если мне не изменяет мой склероз,там жесткое требование pH<7, голый раствор фторида.. поищи как меняется скорость травления по разным BOE’шкам
      Фторид можно подкислить чем–то еще (товарищ Кирт говорит об уксусной кислоте)
      Вообще — горячие щелочи и кислоты будут медленно работать.
      А вообще, если совсем оборзеть, можно соединениями ксенона.
      Гдет так

      Ответить
    6. GnDr:
      15/10/2011 в 17:56

      Ну, если вы не знаете, что такое бифторид аммония, могли б погуглить хотя б. В русском языке он еще называется аммоний фтористокислый кислый.

      Я еще из туровских таблиц помню какой–то фторид, который в виде газа стекло разъедает.

      Ответить
    7. Od5:
      15/10/2011 в 18:03

      тогда я вообще не понимаю, о чем базар. Это называется BHF 1, используется лет 20 минимум, и 1 — это слишком кислый раствор, вообще–то… Литература ищется левой задней лапой…
      Впрочем, пока совершенно непонятно чего товарищ хочет добиться по любому.

      Ответить
    8. GnDr:
      15/10/2011 в 18:12

      Изначально он про соль, которую будет растворять. Соль кислая, фториды есть, скорее всего будет травить, точнее не скажу, гуглить лень. А добиться он хочет ответа, видимо, достаточно ли ему бифторида или надо подкислять.

      Ответить
    9. Od5:
      15/10/2011 в 18:21

      Ну это и называется «изобретать велосипед с квадратными колесами»
      1 будет кушать около микрона в минуту, и иметь все недостатки чистой плавиковки. Вообще–то используются растворы с существенно меньшим количеством кислоты.

      Ответить
    10. KiMO:
      16/10/2011 в 04:11

      повторяю, я ищу возможность стравливать оксид и стекло с кремния без прямого использования плавиковой кислоты. К нам через неделю студенты на лабы приходят и я ищу защиту от дурака. Это заботит меня так, что аж снится.
      Разумеется, я сначала книжки полистал, прежде чем сюда писать.

      Ответить
    11. KiMO:
      16/10/2011 в 04:12

      вы верно меня поняли.

      Ответить
    12. KiMO:
      16/10/2011 в 04:22

      да я вообще её только в связаном виде хочу в лаборатории иметь. И чем сильнее разбавленой, тем лучше. Вот уж чего мне не нужн,о так именно такого изобретательства! А химия стандартных BOE имеет тонкости. Вот о пользовании их то я вас и спросил.

      Ответить
    13. Od5:
      16/10/2011 в 06:40

      а скок оксида?
      Раствор этой штуки действует ровно как плавиковка на руки. вообще–то. опасна не плавиковка, а фторид ион, наскок я помню

      Ответить
    14. KiMO:
      16/10/2011 в 06:58

      оксида — неизвестно–вариабельно: студиозы будут платины на воздухе дотировать. Поэтому селективность и нужна.
      Эй! Что же тебя так на аварийные ситуации тянет? Ожог на руке — это малый пиздец, аккумулирование фтора в организме — пиздец основной. От него то я и сам увернуться хочу, и студентов сохранить.

      Кстати, а что за матирующие пасты для стекла аметёрам двигают? Их ведь заявляют ведь безвредными(?!?!). Что в них стекло разъедает?

      Ответить
    15. Od5:
      16/10/2011 в 07:42

      Накопление фтора в организме?? Родной, о чем вы?? У вас температура?? Вы тупых ТБшников много слушали наверное?
      наберите в гугле «фторирование водопроводной воды» из интереса. Или изучите, чем вы зубы утром чистите–с — там на тюбике написано сколько чего вы в рот берете
      Рекомендованый суточный прием фтора — пара милиграмм, насколько я помню.

      а пасты — опять таки гугля в помощь. «Glass Etching Cream MSDS» — сплошные фториды и работа в печатках.
      в общем, хорошая вытяжка, перчатки, и обещание анально покарать нарушителей ТБ спасут отца русской демократии.

      я, кстати, общался с человеком, который довольно долго работал с плавиковкой без перчаток. В общем, последствия были — но отнюдь не ьчерез сутки упал замертво», как любят писать ТБшники.

      Ответить
    16. KiMO:
      16/10/2011 в 08:47

      обычное содержание фтора в воде питьевого качества порядка 1–1,5 мг/л солей Р, Са и Мg. На лабах планируется работа с совсем другими концентрациями и более агрессивными веществами. Потрогать фторид и кислоту — две большие разницы. В рот и глаза эта херь попадает по статистическим законам, а не по логике.

      Про анальные кары: страна другая, подход другой.
      Спасибо, дорогой, понедельник, все равно, все поставит на свои места.

      Ответить
    17. Od5:
      16/10/2011 в 09:14

      Так вы эти растворы пьете что ли?? так бы сразу и говорили… Дикие люди. Нет, серьезно, сравнивать промышленные растворы с питьевой водой…
      Мораль–то какая: при таких дозах отравиться невидимой глазу каплей невозможно. Если не пить раствор и не мыть им руки — существенной дозы не получить. Невидимые глазом капельки слишком малы, для настоящих последствий нужна чайная ложка раствора, размазанная по коже.

      Потрогать фторид и кислоту — две большие разницы.
      ага, фторид должен быть похуже, очевидно. По крайней мере фторид аммония (кальций, очевидно, нихрена не сделает). Фторид диссоциирует эффективнее, и через кожу ионом быстрее проскочит. А полярная слабо диссоциирующая молекула через мембраны не пройдет. Кислота–то слабая..

      В рот и глаза эта херь попадает по статистическим законам, а не по логике.
      Ага — но очки, перчатки и вытяжка снижают статистику на порядки. Если все равно ссыкотно — взять раствор флуоресцина и отработать процедуру, а потом ультрафиолетовой лампой устроить разбор полетов, куда капли летят.
      Тюбик глюконата и намаз после работы, если очко играет. Или у вас перчаток и вытяжки нет?

      Про анальные кары: страна другая, подход другой.
      Ну да, у вас в Европах всякие хиханьки да хаханьки. Тут сразу обьясняют: ТБ имеет право уволить. Не нравится — пишите Обаме.

      Ответить
    18. KiMO:
      16/10/2011 в 09:52

      ультрафиолетовой лампой устроить разбор полетов
      От сюда, пожалуйста, подробней: что сверкать и переливаться то будет?

      очки, перчатки и вытяжка снижают статистику
      Ну, вы за полного идиота меня, пожалуйста не держите: это — первое, что в наших лабах появляется и с чем мы обязаны работать, минимум по–двое. Иначе — никак.

      Друг, повторю: СТУДЕНТЫ. Они — не при обаме. У них ещё гормоны бурлят и брызжют. У соседнего профа летом студентка BaCl2 от любви лечилась. А своего профа я не далее как в Пт. вечером от вытяжки оттаскивал: прикорнуть решил, голуба, пока я за глицерином ходил.

      Вот такие смешочки, да хаханьки у нас «вевропах». Обсмеёшься.

      Ответить
    19. Od5:
      16/10/2011 в 10:22

      Отработайте начерно лабу раствором красителя, который хорошо заметен. Вариант — флуоресцин, под УФ лампой сияет как солнышко. Сразу будет видно что и куда попадает, и можно подумать как избежать. В отличие от, флуоресцин вполне безвреден в разумных дозах, по–моему его даже в напитки некоторые кладут для красоты

      Студенты, как правило, хороший ТБшный втык первый день помнят. Слайд о вреде плавиковки нарисовать и все.

      А лечилась хлоридом бария… Знаете, по–моему продолжение очевидно и даже слегка смешно. Пару ампул английской соли и стакан молока, и отойти метров на 5 на всякий случай..

      Ответить
    20. Od5:
      16/10/2011 в 10:24

      Да, и на всякий случай помяните деткам, что самоубийство питьем кислоты — одно из самых плохих: долго, мучительно, и в сознании до последнего момента…

      Ответить
    21. KiMO:
      16/10/2011 в 10:34

      ну это — обязательно, тем более, что у нас 4/5 химикатов — мучительные. :–)

      Ответить
    22. KiMO:
      19/10/2011 в 01:59

      Дабы закрыть тему: как и писал в самом начале Od5, горячие щёлочи (то же КОНь, к примеру) или кислоты (ну надо же, H3PO4!) травят ея. НО! Травят и всё другое, под чистую, с плохой избирательностью: и кремний, и оксид. Для фосфорной к–ты я нашёл, что при конц. 2,5% и температуре 165°С она травит со скростью 10 ?/min и оксид и подложку. Правда, оксид используют как hardmask для травления Si3N4. Щёлочи травят быстро, т. е. очень быстро: мы сегодня местами области эмиттера лишились вместе с оксидом. Хотим бороться с реальностью другой ориентацией (пластины). Думаем: 111 спасёт.

      По ходу дела нарыл интересный сборник рецептов. И обзавёлся книжкой «Etching in Microsystem Technology» автор Michael K?hler (1999), ISBN– 3527295615.

      Ответить
    23. Od5:
      19/10/2011 в 03:06

      Поищи статью Kirt Williams –etch rates что–то там, Part 2
      очень удобный тоже ссылочник

      Ответить
    24. KiMO:
      19/10/2011 в 04:43

      ага, спасибо.

      Ответить

    Добавить комментарий