А вот приснился мне сон, что SiO2 травлю без HF.
Вот и мучаюсь после: вещий ли, али глупость обычная?

Разрулите, братцы добры: можно ли такое в стакане (плазма — не всчёт)?

image

GD Star Rating
loading...
Tagged with →  

24 Responses to SiO2 травлю без HF

  1. KiMO:

    Коллеги, ау! Есть ли у кого опыт применения одинокого бифторида аммония по этой теме? Очень нужно до понедельника обсудить.

  2. GnDr:

    Бифторид должен вполне себе сносно травить, учитывая слабость плавиковой кислоты.

  3. KiMO:

    вот и хочу его проверить. референций никаких нет?

  4. GnDr:

    Не, но не вижу причин, чтоб не травилось.

  5. Od5:

    Вообще, для начала, что такое бифторид? фтор — однозарядный ион, аммоний — однозарядный; NH4F. Химия, 8 класс.
    Во–вторых, если мне не изменяет мой склероз,там жесткое требование pH<7, голый раствор фторида.. поищи как меняется скорость травления по разным BOE’шкам
    Фторид можно подкислить чем–то еще (товарищ Кирт говорит об уксусной кислоте)
    Вообще — горячие щелочи и кислоты будут медленно работать.
    А вообще, если совсем оборзеть, можно соединениями ксенона.
    Гдет так

  6. GnDr:

    Ну, если вы не знаете, что такое бифторид аммония, могли б погуглить хотя б. В русском языке он еще называется аммоний фтористокислый кислый.

    Я еще из туровских таблиц помню какой–то фторид, который в виде газа стекло разъедает.

  7. Od5:

    тогда я вообще не понимаю, о чем базар. Это называется BHF 1, используется лет 20 минимум, и 1 — это слишком кислый раствор, вообще–то… Литература ищется левой задней лапой…
    Впрочем, пока совершенно непонятно чего товарищ хочет добиться по любому.

  8. GnDr:

    Изначально он про соль, которую будет растворять. Соль кислая, фториды есть, скорее всего будет травить, точнее не скажу, гуглить лень. А добиться он хочет ответа, видимо, достаточно ли ему бифторида или надо подкислять.

  9. Od5:

    Ну это и называется «изобретать велосипед с квадратными колесами»
    1 будет кушать около микрона в минуту, и иметь все недостатки чистой плавиковки. Вообще–то используются растворы с существенно меньшим количеством кислоты.

  10. KiMO:

    повторяю, я ищу возможность стравливать оксид и стекло с кремния без прямого использования плавиковой кислоты. К нам через неделю студенты на лабы приходят и я ищу защиту от дурака. Это заботит меня так, что аж снится.
    Разумеется, я сначала книжки полистал, прежде чем сюда писать.

  11. KiMO:

    вы верно меня поняли.

  12. KiMO:

    да я вообще её только в связаном виде хочу в лаборатории иметь. И чем сильнее разбавленой, тем лучше. Вот уж чего мне не нужн,о так именно такого изобретательства! А химия стандартных BOE имеет тонкости. Вот о пользовании их то я вас и спросил.

  13. Od5:

    а скок оксида?
    Раствор этой штуки действует ровно как плавиковка на руки. вообще–то. опасна не плавиковка, а фторид ион, наскок я помню

  14. KiMO:

    оксида — неизвестно–вариабельно: студиозы будут платины на воздухе дотировать. Поэтому селективность и нужна.
    Эй! Что же тебя так на аварийные ситуации тянет? Ожог на руке — это малый пиздец, аккумулирование фтора в организме — пиздец основной. От него то я и сам увернуться хочу, и студентов сохранить.

    Кстати, а что за матирующие пасты для стекла аметёрам двигают? Их ведь заявляют ведь безвредными(?!?!). Что в них стекло разъедает?

  15. Od5:

    Накопление фтора в организме?? Родной, о чем вы?? У вас температура?? Вы тупых ТБшников много слушали наверное?
    наберите в гугле «фторирование водопроводной воды» из интереса. Или изучите, чем вы зубы утром чистите–с — там на тюбике написано сколько чего вы в рот берете
    Рекомендованый суточный прием фтора — пара милиграмм, насколько я помню.

    а пасты — опять таки гугля в помощь. «Glass Etching Cream MSDS» — сплошные фториды и работа в печатках.
    в общем, хорошая вытяжка, перчатки, и обещание анально покарать нарушителей ТБ спасут отца русской демократии.

    я, кстати, общался с человеком, который довольно долго работал с плавиковкой без перчаток. В общем, последствия были — но отнюдь не ьчерез сутки упал замертво», как любят писать ТБшники.

  16. KiMO:

    обычное содержание фтора в воде питьевого качества порядка 1–1,5 мг/л солей Р, Са и Мg. На лабах планируется работа с совсем другими концентрациями и более агрессивными веществами. Потрогать фторид и кислоту — две большие разницы. В рот и глаза эта херь попадает по статистическим законам, а не по логике.

    Про анальные кары: страна другая, подход другой.
    Спасибо, дорогой, понедельник, все равно, все поставит на свои места.

  17. Od5:

    Так вы эти растворы пьете что ли?? так бы сразу и говорили… Дикие люди. Нет, серьезно, сравнивать промышленные растворы с питьевой водой…
    Мораль–то какая: при таких дозах отравиться невидимой глазу каплей невозможно. Если не пить раствор и не мыть им руки — существенной дозы не получить. Невидимые глазом капельки слишком малы, для настоящих последствий нужна чайная ложка раствора, размазанная по коже.

    Потрогать фторид и кислоту — две большие разницы.
    ага, фторид должен быть похуже, очевидно. По крайней мере фторид аммония (кальций, очевидно, нихрена не сделает). Фторид диссоциирует эффективнее, и через кожу ионом быстрее проскочит. А полярная слабо диссоциирующая молекула через мембраны не пройдет. Кислота–то слабая..

    В рот и глаза эта херь попадает по статистическим законам, а не по логике.
    Ага — но очки, перчатки и вытяжка снижают статистику на порядки. Если все равно ссыкотно — взять раствор флуоресцина и отработать процедуру, а потом ультрафиолетовой лампой устроить разбор полетов, куда капли летят.
    Тюбик глюконата и намаз после работы, если очко играет. Или у вас перчаток и вытяжки нет?

    Про анальные кары: страна другая, подход другой.
    Ну да, у вас в Европах всякие хиханьки да хаханьки. Тут сразу обьясняют: ТБ имеет право уволить. Не нравится — пишите Обаме.

  18. KiMO:

    ультрафиолетовой лампой устроить разбор полетов
    От сюда, пожалуйста, подробней: что сверкать и переливаться то будет?

    очки, перчатки и вытяжка снижают статистику
    Ну, вы за полного идиота меня, пожалуйста не держите: это — первое, что в наших лабах появляется и с чем мы обязаны работать, минимум по–двое. Иначе — никак.

    Друг, повторю: СТУДЕНТЫ. Они — не при обаме. У них ещё гормоны бурлят и брызжют. У соседнего профа летом студентка BaCl2 от любви лечилась. А своего профа я не далее как в Пт. вечером от вытяжки оттаскивал: прикорнуть решил, голуба, пока я за глицерином ходил.

    Вот такие смешочки, да хаханьки у нас «вевропах». Обсмеёшься.

  19. Od5:

    Отработайте начерно лабу раствором красителя, который хорошо заметен. Вариант — флуоресцин, под УФ лампой сияет как солнышко. Сразу будет видно что и куда попадает, и можно подумать как избежать. В отличие от, флуоресцин вполне безвреден в разумных дозах, по–моему его даже в напитки некоторые кладут для красоты

    Студенты, как правило, хороший ТБшный втык первый день помнят. Слайд о вреде плавиковки нарисовать и все.

    А лечилась хлоридом бария… Знаете, по–моему продолжение очевидно и даже слегка смешно. Пару ампул английской соли и стакан молока, и отойти метров на 5 на всякий случай..

  20. Od5:

    Да, и на всякий случай помяните деткам, что самоубийство питьем кислоты — одно из самых плохих: долго, мучительно, и в сознании до последнего момента…

  21. KiMO:

    ну это — обязательно, тем более, что у нас 4/5 химикатов — мучительные. :–)

  22. KiMO:

    Дабы закрыть тему: как и писал в самом начале Od5, горячие щёлочи (то же КОНь, к примеру) или кислоты (ну надо же, H3PO4!) травят ея. НО! Травят и всё другое, под чистую, с плохой избирательностью: и кремний, и оксид. Для фосфорной к–ты я нашёл, что при конц. 2,5% и температуре 165°С она травит со скростью 10 ?/min и оксид и подложку. Правда, оксид используют как hardmask для травления Si3N4. Щёлочи травят быстро, т. е. очень быстро: мы сегодня местами области эмиттера лишились вместе с оксидом. Хотим бороться с реальностью другой ориентацией (пластины). Думаем: 111 спасёт.

    По ходу дела нарыл интересный сборник рецептов. И обзавёлся книжкой «Etching in Microsystem Technology» автор Michael K?hler (1999), ISBN– 3527295615.

  23. Od5:

    Поищи статью Kirt Williams –etch rates что–то там, Part 2
    очень удобный тоже ссылочник

  24. KiMO:

    ага, спасибо.

Добавить комментарий